磁力驅動泵基于MEMS的微驅動器研制及其特性研究

    根據(jù)被動閥微泵的工作原理,提出了一種基于MEMS技術具 有V型微閥的新型微驅動器,對微驅動器結構中的PZT復合薄板、微閥 的制作、特性進行了工藝模擬,設計了相關制作工藝及版圖尺寸,并實現(xiàn) 了微驅動器。通過理論分析給出方形PZT復合薄板的驅動電壓與撓度、 復合薄板的厚度與撓度,復合薄板厚度與固有頻率的關系,為方形硅杯結 構微系統(tǒng)器件的理論與實驗的進一步比較分析提供了參考依據(jù)。在研制過 程中發(fā)現(xiàn)V型微閥設計制作的關鍵因素是硅各向異性腐蝕技術與設計尺 寸的關系,并給出了新型V閥微驅動器的流量、背壓等測試方法。結果證 明采用MEMS技術研制的新型V閥微驅動器的工藝方案可行,工藝簡單、 成本低、體積小,尤其適用于生物醫(yī)學領域。

    磁力驅動泵是將永磁聯(lián)軸器的工作原理應用于離心泵的新產(chǎn)品，主要材料有不銹鋼、增強聚丙稀，工程塑料。設計合理、工藝，具有全密封、無泄漏、耐腐蝕的特點，其性能達到國外同類產(chǎn)品的水平。

    主要推薦產(chǎn)品不銹鋼磁力泵,高溫磁力泵,耐腐蝕磁力泵,自吸磁力泵,耐腐蝕液下泵 http://shngzy.com/